在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料、熱處理、石油化工、環(huán)保和真空應(yīng)用等眾多制造與科研領(lǐng)域，氣體的精準計量與穩(wěn)定控制是保障生產(chǎn)質(zhì)量的核心環(huán)節(jié)。

針對低壓、大流量工況的測控，北京精量科技基于熱式原理，自主研發(fā)、設(shè)計的ACU20FDR系列低壓差氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），用于測量和閉環(huán)控制氣體質(zhì)量流量。憑借獨特的設(shè)計理念與優(yōu)異的性能表現(xiàn)，提供了可信賴的氣體流量測控方案。

ACU20FDR系列基于熱擴散式與傳感檢測原理，由流量傳感模塊、溫度補償單元、高流通能力電磁閥、數(shù)字信號處理與通訊模塊組成。按照電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理，結(jié)合溫度傳感器進行溫度補償，實現(xiàn)了高精度、快速響應(yīng)的流量測量和控制，同時，配備了高流通能力電磁閥，使ACU20FDR系列更適合在幾乎沒有可用系統(tǒng)壓力的條件下，精準控制氣體流量，低壓差控制將保證對系統(tǒng)產(chǎn)生最小影響，實現(xiàn)在接近大氣壓狀態(tài)下的穩(wěn)定控制。

核心優(yōu)勢：

高精度與寬量程：

ACU20FDR可實現(xiàn)較寬的控制比，其測量精度±0.5% F.S，重復(fù)性±0.2% F.S，可滿足半導(dǎo)體鍍膜、氣相色譜、催化反應(yīng)、真空熱處理行業(yè)等對流量控制精度要求較高的場景。

快速響應(yīng)：ACU20FDR預(yù)熱時間短，響應(yīng)速度快，可快速啟動流體測量和控制工作。其高精度傳感器和電路優(yōu)化設(shè)計有效降低了零漂，提高了測量靈敏度與長期穩(wěn)定性，保障連續(xù)運行下的數(shù)據(jù)可靠性。

擴展性強：

支持模擬量輸入輸出，可配置多類型工業(yè)通訊接口，支持RS232/485MODBUS、PROFIBUS等通訊協(xié)議，可外接顯示單元，還能定制閥門與PID調(diào)節(jié)，方便遠程控制和數(shù)據(jù)采集，拓展多場景適配能力。

應(yīng)用案例：

ACU20FDR低壓差質(zhì)量流量控制器/流量計聚焦低壓、大流量、高精度測控需求，已在多行業(yè)實現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用，例如：

• 能源環(huán)保領(lǐng)域：其用于天然氣計量或煙氣分析，為碳排放監(jiān)測提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

• 催化裂化過程：用于控制反應(yīng)器中的氣氛流量，以優(yōu)化燃料油的產(chǎn)量。

• 環(huán)境監(jiān)測站：用于采樣和分析空氣中的有害氣體，如PM2.5、揮發(fā)性有機化合物（VOCs）等。

• 氣體滲碳爐：由于壓力損失小的特性，低壓供給富化氣體流量難以控制的這一問題，也得到了相應(yīng)的改善。爐內(nèi)氣氛控制提升，滲碳品質(zhì)更穩(wěn)定。

ACU20FDR系列低壓差氣體質(zhì)量流量控制器/流量計以低壓適配、高精度、快響應(yīng)的特點，成為行業(yè)內(nèi)低壓場景的信賴之選。它不僅提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，還滿足了從研發(fā)到嚴苛工業(yè)環(huán)境的要求。面向愈加精密的制造需求，ACU20FDR正以穩(wěn)健的技術(shù)性能，持續(xù)為客戶提供值得信賴的流量測控支撐。

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