隨著新能源、新材料、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，氣體流量測(cè)量與控制精度的要求日益嚴(yán)苛。產(chǎn)線(xiàn)不僅要實(shí)現(xiàn)微小流量的精準(zhǔn)調(diào)控，還需應(yīng)對(duì)腐蝕性、高純度等特殊介質(zhì)的挑戰(zhàn)。在這一背景下，金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器作為關(guān)鍵的基礎(chǔ)元器件，在諸如氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、清洗機(jī)等核心工藝設(shè)備中發(fā)揮著關(guān)鍵性作用。

ACCU專(zhuān)注于精密流體流量的測(cè)量與控制，旗下自主研發(fā)的20FD系列高精度金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器，基于熱式毛細(xì)管溫差量熱法原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，測(cè)量值不受溫度和壓力波動(dòng)的干擾。

20FD系列具備寬流量范圍，標(biāo)準(zhǔn)量程范圍：0~（2SCCM...10000SLM），支持非標(biāo)定制。精度可達(dá)±0.5%F.S，兼具預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，快速響應(yīng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性等特點(diǎn)。其管狀分流結(jié)構(gòu)不易堵塞。20FD系列支持模擬量輸入/輸出，多種數(shù)字通訊模式RS232/485Modbus協(xié)議、PROFIBUS、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 可選。適配產(chǎn)線(xiàn)各種通訊架構(gòu)，也可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程、自動(dòng)化操作。

密封材質(zhì)與耐腐蝕選型：

      氣體質(zhì)量流量控制器的耐腐蝕能力、工藝安全性與使用壽命，核心取決于密封結(jié)構(gòu)與密封材質(zhì)，也是工況選型的關(guān)鍵依據(jù)。ACU20FD氣體質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 與工藝氣體接觸的部件通常采用316L不銹鋼搭配金屬密封或彈性密封：

1、金屬密封：

一般使用不銹鋼、金、鎳等高耐腐蝕材質(zhì)，理論上可兼容任何氣體，包括各類(lèi)腐蝕性氣體與高純特種氣體。對(duì)于三溴化硼（BBr?）、三氯化硼（BCl?）等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，以及MOCVD工藝中使用的金屬有機(jī)化合物，推薦采用ACU20FD金屬密封質(zhì)量流量控制器，采用定制全金屬密封結(jié)構(gòu)，專(zhuān)為需要精確氣體流量控制的工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，能夠有效抵抗腐蝕性氣體侵蝕，降低污染物和顆粒物吸附對(duì)氣體純度的影響，為高純度氣體應(yīng)用提供高精度和可靠性高的測(cè)控方案。

2、彈性密封：

橡膠彈性體密封適配惰性、輕度腐蝕性常規(guī)工藝氣體。因成本較低，常用采用氟橡膠（FKM），可耐受多數(shù)含量較低的干燥酸性、堿性的氣體及鹵素氣體。但面對(duì)酸堿度比較明顯的、以及特殊腐蝕性氣體時(shí)，必須精準(zhǔn)匹配專(zhuān)用橡膠，例如：氨氣需選用耐氨橡膠（如乙丙橡膠）；三溴化硼、三氯化硼則需要成本較高的全氟醚橡膠（FFKM）。

憑借精準(zhǔn)的工況適配能力與可靠的產(chǎn)品品質(zhì)，20FD系列質(zhì)量流量控制器已應(yīng)用于各類(lèi)制造產(chǎn)線(xiàn)，為眾多合作伙伴提供定制化流體測(cè)控解決方案，收獲廣泛認(rèn)可。

如需精準(zhǔn)工況選型、了解詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù)與適配方案，可咨詢(xún)獲取專(zhuān)屬選型指南，定制適配您產(chǎn)線(xiàn)的高效流量測(cè)控方案。

如有具體參數(shù)需要溝通，請(qǐng)與頁(yè)面下方的產(chǎn)品經(jīng)理溝通。